羅茨泵的工作原理!
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羅茨泵的真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的真空.为了提高泵的真空度,可将LC羅茨泵串联使用.羅茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似
.由于轉子的不斷旋轉,被抽氣體從進氣口吸入到轉子與泵殼之間的空間內,再經排氣口排出.由于吸氣後空間是全封閉狀態,所以,在泵腔內氣體沒有壓縮和膨脹.
當轉子頂部轉過排氣口邊緣,空間與排氣側相通時,由于排氣側氣體壓強較高,則有一部分氣體返沖到空間中去,使氣體壓強突然增高.當轉子繼續轉動時,氣體排出泵
外.羅茨泵在泵腔内,有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动.在转子之间,转子与泵壳内壁之间,保
持有_的間隙,可以實現高轉速運行.
羅茨泵转子与泵壳之间的缝隙很小,仅为0.1mm左右,所以使羅茨泵有压缩比,其真空可进入0. 1 Pa,与机械泵组成机组作为高真空泵的前级泵,可以抑制机械泵的油返流.
当前级机械泵工作状况差时,不能将羅茨泵排出的气体及时抽走,会造成羅茨泵排气口压强过高,真空变差,此时转子受到的阻力增大,摩擦生热较高,容易使电机烧毁.为了避免这一现象,通常在羅茨泵中安装过载保护阀.当保护阀两边的压强差大于几千帕时,阀门打开,减轻转子的负载.
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